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大風量高效過濾器在半導體制造中的應用

2024-03-27

大風量高效過濾器在半導體制造中的應用至關重要,因為半導體生產(chǎn)環(huán)境對潔凈度要求極為嚴苛。具體應用包括:

1. 潔凈室空氣凈化: 半導體制造過程需要在超凈環(huán)境中進行,以防止微粒污染導致產(chǎn)品缺陷。大風量高效過濾器被安裝在潔凈室的空氣處理系統(tǒng)中,有效過濾掉直徑0.3微米以上的微粒,包括塵埃、微生物、化學氣溶膠等,確保潔凈室達到ISO Class 1Class 7等高標準要求。

 

大風量高效過濾器


2. 晶圓制造保護: 在晶圓切割、封裝、光刻等關鍵工序中,任何微小的顆粒污染都可能導致產(chǎn)品報廢。高效過濾器確保工藝環(huán)境中的空氣純凈,保護晶圓不受污染。

 

3. 設備維護: 半導體生產(chǎn)設備復雜精密,對工作環(huán)境要求高。大風量高效過濾器可以保護這些設備免受顆粒物磨損,延長設備使用壽命,降低維修成本。